真空蒸鍍法

真空蒸鍍法

真空蒸發鍍膜法（簡稱真空蒸鍍法，Vacuum Evaporation) 是指在一定的真空條件下，利用高溫加熱蒸鍍材料（金屬合金或金屬氧化物）到一定溫度條件下， 

使其原子或分子從表面汽化逸出，形成蒸汽流，并飛行濺射到玻璃基板表面凝結形成固態薄膜的方法。

由于真空蒸鍛法的主要物理過程是通過加熱蒸發材料而產生，所以又稱熱蒸發法。蒸發源作為蒸發裝置的關鍵部件，

大多數蒸發材料都要求在1000-2000℃的高溫下蒸發。真空蒸鍍法按蒸發源的不同可分為電阻法、電子束蒸發法、高頻感應法和激光蒸發法等。

目前，真空閥門采用真空蒸鍍法生產鍍膜玻璃的均是采用間歇式生產。

常用的涂層

1. 氮化鈦涂層(TiN)

TiN是一種通用型PVD涂層，可以提高刀具硬度并具有較高的氧化溫度。真空閥門該涂層用于高速鋼切削刀具或成形工具可獲得很不錯的加工效果。

2. 氮化鉻涂層(CrN)

CrN涂層良好的抗粘結性使其在容易產生積屑瘤的加工中成為涂層。涂覆了這種幾乎無形的涂層后，高速鋼刀具或硬質合金刀具和成形工具的加工性能將會大大改善。

3. 金剛石涂層(Diamond)

CVD金剛石涂層可為非鐵金屬材料加工刀具提供佳性能，是加工石墨、金屬基復合材料(MMC)、高硅鋁合金及許多其它高磨蝕材料的理想涂層（注意：純金剛石涂層刀具不能用于加工鋼件，因為加工鋼件時會產生大量切削熱，并導致發生化學反應，使涂層與刀具之間的粘附層遭到破壞）。

4. 涂層設備

適用于硬銑、攻絲和鉆削加工的涂層各不相同，分別有其特定的使用場合。此外，真空閥門還可以采用多層涂層，此類涂層在表層與刀具基體之間還嵌入了其它涂層，可以進一步提高刀具的使用壽命。

5. 氮碳化鈦涂層(TiCN)

TiCN涂層中添加的碳元素可提高刀具硬度并獲得更好的表面潤滑性，是高速鋼刀具的理想涂層。

6. 氮鋁鈦或氮鈦鋁涂層(TiAlN/AlTiN)

TiAlN/AlTiN涂層中形成的氧化鋁層可以有效提高刀具的高溫加工壽命。主要用于干式或半干式切削加工的硬質合金刀具可選用該涂層。根據涂層中所含鋁和鈦的比例不同，AlTiN涂層可提供比TiAlN涂層更高的表面硬度，因此它是高速加工領域又一個可行的涂層選擇。