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      擴散泵無法取代的獨特優勢

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      擴散泵無法取代的獨特優勢

      發布日期:2020-08-19 作者: 點擊:

      擴散泵無法取代的獨特優勢


      擴散泵是一種蒸氣射流泵, 泵油被加熱后產生油蒸汽,油蒸汽從傘形噴嘴高速噴出,射流上方的氣體擴散到射流內并被高速的大分子油蒸汽攜帶到泵壁。由于泵壁溫度較低,油蒸汽接觸到泵壁后會迅速液化,被攜帶的氣體繼續向下一級射流擴散并被攜帶至更下一級,直至后被真空系統前級真空泵抽走。

      真空系統

      一般的擴散泵有3到5級傘形噴嘴,有的擴散泵還會增加一級側向的噴射噴嘴,噴射噴嘴可以提高擴散泵在較高壓力下工作的能力(抽速和前級耐壓)。


      擴散泵功耗很大,并且真空系統使用時需要大量的冷卻水,卻還被如此廣泛的使用,主要原因有下面幾點:


      1.具有優的抽速/價格比;


      2.抽速大、可以處理巨大的氣體流量;


      3.有活動部件,高可靠、維護少,壽命長。

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