半導體真空腔體的應用

半導體真空腔體的應用

中國半導體真空腔體市場近幾年快速發展,越來越多的公司也表達了進入芯片領域的興趣.以存儲芯片為例,以前中國國內存儲芯片完全靠進口,今年福建晉華集成電路的內存生產線有望投產,另外長江存儲科技公司也在建設內存和閃存芯片生產線.格力、康佳等傳統家電企業也表示,將進入芯片領域.

據國際半導體設備與材料協會報告顯示,中國目前正在天津、西安、北京、上海等16個地區打造25個FAB建設項目,福建晉華集成電路、長江存儲科技公司等企業技術水平雖不及韓國,但均已投入芯片量產.報告預測,今年中國半導體設備市場規模有望達118億美元,實現同比43.9%的增長,并且明年市場規模有望擴大至173億美元,增長46.6%,成為全球一大市場.而同一時期內韓國的半導體設備市場規模從179.6億美元減少至163億美元,減幅為9.2%.中國超越韓國成為全球很大半導體設備市場.

鋁合金腔體在等離子清洗中的應用

等離子清洗機又稱等離子清潔機,離子表面處理儀,是一種全新的高科技技術,利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果.等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等.等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面,從而實現清潔、涂覆等目的.

在鋁合金腔體里,通過射頻電源在一定的壓力情況下會產生高能量的無序的等離子體,通過等離子體轟擊被清洗產品表面．以達到清洗目的．

等離子清洗機的結構主要分為三個大的部分組成,分別是控制單元、真空腔體以及真空泵

一、控制單元

國內使用的等離子清洗機,包括國外進口的,控制單元主要分為全自動控制、半自動控制、PC電腦控制、液晶觸摸屏控制四種方式.

其中控制單元又分為兩部分：

1.電源部分：主要電源頻率有三種,分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz,其中13.56MHz是需要電源匹配器的.

2.系統控制單元：按鈕控制（半自動、全自動）、電腦控制、PLC控制（液晶觸摸屏控制）.

二、真空腔體：

真空腔體主要是分為兩種材質的：

1.不銹鋼真空腔體

2.鋁合金腔體

三、真空泵：

真空泵分為兩種：

1.干泵

2.油泵