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      真空系統:低/高真空的獲得

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      真空系統:低/高真空的獲得

      發布日期:2020-10-07 作者: 點擊:

      真空系統:低/高真空的獲得


      低真空的獲得  


      獲得低真空常采用機械泵,機械泵是運用機械方法不斷地改變泵內吸氣空腔的體積,使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹,從而獲得真空的裝置。


      它可以直接在大氣壓下開始工作,極限真空度一般為1.33-1.33x10-2pa, 抽氣速率與轉速及空腔體積V的大小有關,一般在每秒幾升到每秒幾十升之間。


      高真空的獲得 

      真空系統

      目前,廣泛使用的獲得高真空的泵就是擴散泵。擴散泵是利用氣體擴散現象來抽氣的,它不能直接在大氣壓下工作,而需要一定的預備真空度(1.33-0.133Pa)。


      油擴散泵的極限真空度主要取決于油蒸汽壓和氣體分子的反擴散,一般能達到1.33x10-5---1.33x10-7pa。 抽氣速率與結構相關,每秒幾升--幾百升不等。真空系統


      濺射鍍膜


      濺射靶材具有高純度、高密度、多組元、晶粒均勻等特點,一般由靶坯和背板組成。


      靶坯屬于濺射靶材的核心部分,是高速離子束流轟擊的目標材料。


      靶坯被離子撞擊后,其表面原子被濺射飛散出來并沉積于基板上制成電子薄膜。


      由于高純度金屬強度較低,因此濺射靶材需要在高電壓、高真空的機臺環境內完成濺射過程。


      超高純金屬的濺射靶坯需要與背板通過不同的焊接工藝進行接合,背板起到主要起到固定濺射靶材的作用,且需要具備良好的導電、導熱性能。


      以上就是真空系統廠家整理的相關資料,希望對大家有所幫助。

      相關標簽:真空系統

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