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      真空閥門:真空鍍膜機各部件以及原理分析

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      真空閥門:真空鍍膜機各部件以及原理分析

      發布日期:2021-08-11 作者: 點擊:

      真空閥門:真空鍍膜機各部件以及原理分析


      真空鍍膜機的真空腔體----根據加工產品要求的差異,真空腔體大小也不一樣,目前應用比較多的有直徑0.9M、1.3M、1.5M、1.8M等。腔體由不銹鋼材料制作,要求不生銹、堅實,真空腔體各部分有鏈接閥,用來鏈接各抽氣泵浦。真空閥門


      真空鍍膜機的輔助抽氣系統:排氣系統為鍍膜真空系統的重要組成部分,機械泵、增壓泵/羅茨泵、擴散泵三大部分組成。這個排氣系統為:擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold。排氣流程:機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態,為擴散泵后續抽真空提供前提,之后當擴散泵抽真空的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯,以這樣的方式完成抽氣動作。

      真空閥門

      真空鍍膜機的機械原理以及其分類:

      機械泵:也叫前級泵,機械泵是應用很廣的一種低真空泵,它是用油來保持密封效果并依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積,使被抽容器內氣體體積不斷膨脹從而獲得真空。


      一.機械泵的分類:機械泵有很多種,常用的有滑閥式(主要用于大型設備),活塞往復式,定片式和旋片式(此目前運用很廣)真空閥門


      二.機械泵是從大氣開始工作的,它的主要參數有極限真空、抽氣速率、此為設計和選用機械泵的重要依據,單級泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空,雙級泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2PA,甚至更高。抽氣速率是指旋片泵,按額定轉速運轉時,真空閥門單位時間內所能排出氣體的體積,可用公式計算:Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸氣結束時空腔截面積,L表示空腔長度,系數表示轉子每旋轉一周有兩次排氣過程,Vs表示當轉子處于水平位置的時候,吸氣結束,此時空腔內的體積較大,轉數為n。機械泵排氣的效果還與電機的轉數以及皮帶的松緊度有關,當電機的皮帶比較松,電機轉數很慢的時候,機械泵的排氣效果也會變差,所以要經常保養,點檢,機械泵的密封效果也需要經常點檢,由過少,達不到密封效果,泵內會漏氣,油過多,把吸氣孔堵塞,無法吸氣和排氣,一般在油位線下0.5厘米即可。


      三.機械泵常常被用來抽除干燥的空氣,但不能抽除含氧量過高、有爆炸和腐蝕性的氣體,機械泵一般被用來抽除長久性的氣體,但是對水氣沒有好的效果,所以它不能抽除水氣。旋葉泵中起主要作用的部件是定子、轉子、彈片等,轉子在定子里面但與定子不同心軸,像兩個內切圓,轉子槽內裝有兩片彈片,兩片彈片中間裝有彈簧,保證了彈片緊緊貼在定子的內壁。 


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