真空系統對閥門的要求

　　真空系統對閥門的要求

　　對大多數真空系統來說，真空閥門應具有以下廣泛性的性能。

　　1， 防銹性

　　在與真空環境接觸的材料一定要具有良好的防銹性能。因此廣泛采用鋁合金，銅合金和不銹鋼來制造真空隔離部件。

　　2， 工作壓力范圍在0～2.5×105Pa

　　相對較寬的壓力范圍，會使產品的使用面更廣泛，而且閥板的密封好是雙向的，至少閥板在反頂大氣壓時也可密封。

　　3， 低漏率

　　在高真空領域內漏率應<10-7Pa·l·s-1,較低的漏率有利于提高系統的效率，真空系統對降低生產成本非常有效。

　　4， 起動時，震動低，對系統沖擊小。

　　5， 結構緊湊，重量輕

　　6， 明顯的閥位指示

　　7， 可選配加裝閥門啟閉信號控制器，便于編程自動化控制。

　　8， 高流導

　　9， 采用波紋管作為位移的動密封

　　無動態漏氣，無油脂污染，可靠性高，相對橡膠密封，真空系統可靠性更高并可以避免產生顆粒污染。

　　10，真空部分盡量避免采用真空脂。

　　11，盡量減少真空部件內的無用空間，以保證真空獲得的時間更少。

　　12，盡可能的減少功耗。