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      真空腔體中抽氣管道的設計原則-真空腔體

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      真空腔體中抽氣管道的設計原則-真空腔體

      發布日期:2021-09-01 作者: 點擊:


        為一個工藝選擇真空泵時,工藝室和泵之間的抽氣管道可能和泵的選擇一樣重要。要使腔體抽氣速率達到大,需要筆直的抽氣管道(長度短)并使用直徑盡可能大的管道。真空腔體

        看起來似乎很簡單,但是這里有許多因素需要考慮。實際上,如果我們從物理學角度考慮,就可以明確哪些是關鍵因素。真空腔體

        在穩定狀態的條件下,如果抽氣管道內沒有氣源(泄漏)或氣體減少(冷凝),抽氣管道任何截面的質量流量必須相同。簡單而言,進入工藝室的氣體必須從泵出來。

        在某種程度上管道短而粗是好的

        采用短的大直徑抽氣管道盡量提高管道流導是不錯的做法,但只限于當抽氣速度S接近泵速(Sp)極值的情況。

            除此之外,通過增加管道直徑(成本也會相應增加)來增加流導并不能顯著提高工藝室抽氣速率;換而言之,如果抽氣管道流導受限并且由于物理因素不能增加,當(S)接近管道流導(C)極值,一味通過增加應用泵速來提高工藝抽氣速度也是不經濟的。真空腔體

           那么答案是什么呢?

            管道盡可能短

            采用的管道直徑至少等于泵入口法蘭的直徑

            盡量減少彎頭數目

            考慮管道流導(C)和應用泵速(Sp),一個變量的值大于另一個值的三四倍是不經濟的做法

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