真空腔體是保持內部為真空狀態的容器

真空腔體是使內部保持真空狀態的容器。必須考慮真空室的體積，材料和形狀。目前，不銹鋼是真空系統的主要結構材料。其中，300系列不銹鋼是含有10%至20%Cr的低碳鋼。具有優良的耐腐蝕性，低除氣率,無磁性，可焊接性，低電導率和熱導率,可達到-270°C。 具有在一900°C下工作的優點，并廣泛用于高真空和超高溫環境中。下面是關于真空腔體的相關介紹。

近年來,為了降低真空腔體的制造成本，使用鑄造鋁合金制造腔已逐漸普及。另外，有許多使用鈦合金制造專用真空室的例子。為了減小空腔內壁的表面積，通常使用噴砂或電解拋光來獲得平坦的表面。真空系統的腔體采用電解拋光進行表面處理。

焊接是真空腔體制造中重要的環節之一。為 了避免熔融金屬與大氣中的氧氣發生化學反應從而影響焊接質量,通常采用氬弧焊來完成焊接。氬弧焊是指在真空腔體焊接過程中在鎢電極周圍噴灑保護性氬氣,以防止熔融的高溫金屬發生氧化反應。

原則上，真空室的氬弧焊必須是內部焊接，即焊接表面在真空側，以免出現死角和虛漏。真空室不允許進行內部和外部雙重焊接和雙重密封。真空室的內壁表面吸收大量的氣體分子或其他有機物質,從而成為影響真空度的氣體釋放源。要獲得超高真空，必須在150°C至250°C的高溫下烘烤室，以促進=氣體在材料的表面和內部盡快釋放，烘烤方法包括在加熱帶.上纏繞加熱帶?？涨惑w的外壁，將鎧裝的加熱絲固定在空腔的外壁上，或直接將空腔放置在烘烤帳篷中。