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      真空腔體加工常見的檢漏方法

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      真空腔體加工常見的檢漏方法

      發布日期:2022-04-12 作者: 點擊:

      真空腔體加工檢漏主要有三種:氦質譜檢漏,真空封泥檢測法,真空計檢漏法。

      一、氦質譜檢漏

      在真空檢漏中有許多使用。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由分析器、離子源、分析器、冷陰極電離規、收集器組成的質譜室和抽氣體系及電氣等部分組成。質譜室里的燈絲發射出來的電子,在室內來回地振動,并與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互磕碰使其電離成正離子,這些氦離子在加快電場效果下進入磁場,在洛倫茲力的效果下偏轉,進而形成了圓弧形軌道,改變加快電壓可使不同離子經過磁場和接納縫到達接納極而被檢測到。其間呢,噴氦法和吸氦法是氦質譜檢漏常用的兩種辦法。

      二、真空封泥檢測法

      用真空泥封住可疑的漏點,此時要注意觀察真空度的變化,如果貼上真空泥之后真空度上升較快,拿掉之后又會下降,這說明便是一個漏點哦。但是,這個辦法在實踐檢測中用的比較少。

      三、真空計檢漏法

      部分真空計的讀數與氣體種類有關,例如電離真空計,熱偶計。用氣體或許液體做示漏物質,這些真空計就成了探測器,一般鍍膜機上都會有真空計,在實踐使用中也是比較常用的檢漏辦法。熱偶計的示漏物質有二氧化碳,丁烷,酒精等,熱偶計的反響比較慢,要仔細觀察。用于電離計的示漏物質主要有氦,氬,酒精等。




      真空腔體

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