Z軸高真空驅動器
Z軸驅動器采用高品質316L波紋管，保證萬次循環使用，并可按照客戶需求添加X軸，或Y軸高精度微調驅動。
真空閥門——超高真空擋板閥、高真空擋板閥、電磁擋板閥、真空充氣閥（破真空閥）等。閥門驅動方式有：手動、氣動。適用溫度范圍：-30℃——400℃，適用壓力范圍正常氣壓到1.0*10^-7Pa。
真空腔體按照客戶給訂尺寸加工成型，或由我公司按照客戶要求代為出圖加工成型。出廠漏率優于5.0*10^-10Pa.L/S
真空配件——真空成型波紋管、真空焊接波紋、CF高真空金屬密封法蘭、真空三通、四通、短接頭、焊接法蘭、盲法蘭、管接頭、卡箍、無氧銅墊圈等各類真空管路連接件。
